西安电子科技大学 · 宽禁带半导体国家工程研究中心 Advanced Photonic Chips Lab

Research

研究方向

课题组聚焦集成光电子、微纳光子操纵与光信息处理芯片,围绕硅基微腔、薄膜铌酸锂、薄膜氮化铝和微纳光子工艺平台开展研究。

Direction 01

硅基微腔权重调制器及阵列化芯片

集成光学器件光场模式或电磁场仿真结果
器件结构中的光场模式与能量分布仿真。

应用场景

面向光计算、类脑光信息处理和片上可重构光子网络。

研究内容

研究硅基光子晶体微腔、全光权重调制器、非易失光子突触和阵列化芯片结构, 通过仿真、版图和实验表征协同优化,探索高效、紧凑、可集成的片上光调控单元。

硅基微腔 全光调制 光子突触 阵列化芯片

Direction 02

薄膜铌酸锂射频电光与声光调制器芯片

洁净室中夹持的光电子芯片样品
面向集成光电子器件的芯片样品与洁净室工艺环境。

应用场景

面向 5G 通信、微波光子、片上信号处理、非线性光源与集成光信息系统。

研究内容

研究 LNOI 平台上的高 Q 光子晶体纳米腔、二次谐波发射、声光调制和电光调制器件, 提升片上光-电-声-非线性多物理场耦合效率。

LNOI 二次谐波 声光调制 电光调制 高 Q 纳米腔

Direction 03

薄膜氮化铝超高频声光调制器芯片

光电器件或射频电路封装测试平台
射频/光电器件封装与测试平台,用于高频调制和系统验证。

应用场景

面向下一代 6G 通信、高频片上调控、射频光子器件与压电光子集成。

研究内容

探索薄膜氮化铝及相关压电/光子集成平台中的超高频声光调制机制、器件结构与工艺实现, 支撑下一代高频声光调制器芯片研究。

AlNOI 超高频声光调制 6G 通信 压电光子学

Platform

微纳光子工艺与高速器件测试平台

洁净室湿法工艺实验操作
洁净室湿法工艺与材料处理。
光电子实验调试场景
光学平台与器件测试调试。

平台支撑

依托微纳光子工艺平台与高速光子器件测试平台,课题组开展器件仿真、版图设计、光刻、刻蚀、 金属化、湿法处理、光谱表征、射频测试和高速调制测试,形成从设计到验证的闭环研究能力。

器件仿真 微纳加工 光谱表征 射频测试 高速测试